歡迎光臨青島晶誠(chéng)電子設(shè)備有限公司官網(wǎng)
電話: +86-0532-87717117 郵箱:qdjcdz@126.com
設(shè)備名稱 | RCA清洗機(jī) |
用途 | 晶圓的RCA清洗 |
操作方式 | 手動(dòng)/半自動(dòng)/自動(dòng) |
適用領(lǐng)域 | 半導(dǎo)體材料、集成電路、MEMS、LED芯片、功率器件等 |
適用工藝 | SC-1、SC-2、SPM、BOE、超聲(兆聲)清洗、QDR等; |
清洗方式 | 槽式清洗 |
可清洗尺寸 | 2吋---12吋晶圓 |
主體材質(zhì) | 全不銹鋼框架,外包進(jìn)口PP、PVC板 |
槽體材質(zhì) | 石英、PVDF、PTFE、NPP等 |
溫控精度 | ±1℃ |
安全防護(hù) | 自動(dòng)安全門、漏液報(bào)警、漏電保護(hù)、液位保護(hù)、急停、聲光報(bào)警系統(tǒng) |
模塊化設(shè)計(jì) | 滿足客戶多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求 |
可編程菜單,方便用戶操作,直觀 | |
實(shí)時(shí)流程顯示,可控性強(qiáng) | |
多級(jí)權(quán)限密碼,方便管理,安全可靠 | |
自動(dòng)保存生產(chǎn)數(shù)據(jù) | |
可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制 | |
可實(shí)現(xiàn)功能 | 藥液管理系統(tǒng)(自動(dòng)供液、自動(dòng)補(bǔ)液、循環(huán)過濾)、在線加熱、甩干、電導(dǎo)率檢測(cè)、恒溫系統(tǒng)、百級(jí)FFU等 |