設(shè)備名稱

顯影機

用途

可用于去膠、顯影等黃光區(qū)操作

操作方式

手動/半自動/自動

適用領(lǐng)域

半導體、LED芯片、MEMS等

適用工藝

勻膠、顯影、去膠

顯影方式

槽式

適用尺寸

2吋--12吋晶圓

藥液供給

手動或自動供給

主體材質(zhì)

不銹鋼、PP、PVC

槽體材質(zhì)

不銹鋼、PP、PVDF

溫控精度

±1℃

安全防護

自動安全門、漏液報警、漏電保護、液位保護、急停、聲光報警系統(tǒng)

模塊化設(shè)計

滿足客戶多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求

可編程菜單，方便用戶操作，直觀

實時流程顯示，可控性強

多級密碼，方便管理，安全可靠

自動保存生產(chǎn)數(shù)據(jù)

可實現(xiàn)遠程控制

可實現(xiàn)功能

藥液管理系統(tǒng)（自動供液、自動補液、循環(huán)過濾）、機械拋動、恒溫系統(tǒng)、自動滅火等